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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种自动上下片斜面冲洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999229U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493473.5，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种自动上下片斜面冲洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动上下片斜面冲洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种自动上下片斜面冲洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括移料机构、上料载体、下料载体、固定组件以及喷淋组件；固定组件包括多个治具；多个治具自下而上呈台阶式间隔分布；治具用于固定衬底片，并使得衬底片相对于地面倾斜设置；喷淋组件与固定组件一一对应；喷淋组件包括第一喷淋件以及第二喷淋件。能够实现衬底片的自动上下料，操作简单，有效提升清洗效率；将多个治具自下而上呈台阶式间隔分布以相互错开，这样清洗完的衬底片上的残留液不会滴到相邻的衬底片上，而且治具以衬底片相对于地面倾斜设置的方式来固定衬底片，这种倾斜设置下的错开设置，相比于竖直状态下的错开设置，能够降低纵向空间的占用。

本实用新型一种自动上下片斜面冲洗装置在权利要求书中公布了：1.一种自动上下片斜面冲洗装置，其特征在于，包括移料机构（1）、上料载体（6）、下料载体（7）、固定组件以及喷淋组件； 所述上料载体（6）用于承载待上料的衬底片（5）； 所述下料载体（7）用于承载清洗完的衬底片（5）； 所述固定组件包括多个治具（4）； 多个所述治具（4）自下而上呈台阶式间隔分布； 所述治具（4）用于固定衬底片（5），并使得衬底片（5）相对于地面倾斜设置； 所述喷淋组件与所述固定组件一一对应，用于对所述固定组件所固定的衬底片（5）进行喷淋清洗； 所述喷淋组件包括第一喷淋件（2）以及第二喷淋件（3）； 所述第一喷淋件（2）上设有多个用于对位于所述治具（4）上的衬底片（5）的第一面进行喷淋清洗的第一喷孔（21）； 所述第二喷淋件（3）上设有多个用于对位于所述治具（4）上的衬底片（5）的第二面进行喷淋清洗的第二喷孔； 所述移料机构（1）用于将所述上料载体（6）上的衬底片（5）移送至所述治具（4）上； 所述移料机构（1）还用于将所述治具（4）上的衬底片（5）移送至所述下料载体（7）上。

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