广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种高效清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493546.0，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种高效清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种高效清洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括清洗槽、摆杆、支架、摆动驱动器以及直线驱动器；清洗槽内设有容纳清洗药液的药液腔；清洗槽上设有连通药液腔的开口；支架活动安装于药液腔中；摆杆的第一面设有若干用于固定衬底片的治具；摆杆上与第一面相对立的第二面中心设有转轴。通过摆动驱动器带动摆杆在清洗槽中左右摆动，同时通过直线驱动器带动支架在清洗槽中直线运动，使得药液对摆动杆上的治具的衬底片充分形成来回冲洗，衬底片的清洗更加彻底，有效提升了清洗效果以及清洗效率。
本实用新型一种高效清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种高效清洗装置，其特征在于，包括清洗槽（1）、摆杆（3）、支架（2）、摆动驱动器（6）以及直线驱动器（5）； 所述清洗槽（1）内设有容纳清洗药液的药液腔（11）； 所述清洗槽（1）上设有连通所述药液腔（11）的开口； 所述支架（2）活动安装于所述药液腔（11）中； 所述摆杆（3）的第一面设有若干用于固定衬底片（7）的治具（4）； 所述摆杆（3）上与第一面相对立的第二面中心设有转轴； 所述摆杆（3）通过所述转轴转动安装于所述支架（2）上； 所述摆动驱动器（6）安装于支架（2）上，且与所述转轴连接，用于带动所述摆杆（3）绕所述转轴摆动； 所述直线驱动器（5）与所述支架（2）连接，用于带动所述支架（2）在所述药液腔（11）中直线运动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东先导微电子科技有限公司，其通讯地址为：511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号