广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种衬底片清洗干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493583.1，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种衬底片清洗干燥装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种衬底片清洗干燥装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种衬底片清洗干燥装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括移动板、驱动器、喷淋组件以及干燥组件；移动板上设有固定组件；驱动器与移动板连接；喷淋组件设置在清洗工位上；干燥组件设置在干燥工位上。通过驱动器来带动移动板运动，进而使得移动板上的固定组件所固定的衬底片能够在清洗工位与干燥工位之间运动，衬底片在清洗工位处完成清洗作业后，能够快速到达干燥工位进行干燥，极大提升清洗干燥效率。而且，清洗组件与干燥组件为对衬底片的第一面与第二面进行同步作业，无需换面操作，进一步提升清洗与干燥的作业效率。
本实用新型一种衬底片清洗干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底片清洗干燥装置，其特征在于，包括移动板（1）、驱动器（2）、喷淋组件以及干燥组件； 所述移动板（1）上设有固定组件； 所述固定组件用于固定衬底片（6）； 所述驱动器（2）与所述移动板（1）连接，用于通过带动所述移动板（1）运动，以使得所述固定组件在清洗工位与干燥工位之间运动； 所述喷淋组件设置在所述清洗工位上，用于对衬底片（6）的第一面与第二面进行喷淋清洗； 所述干燥组件设置在所述干燥工位上，用于对衬底片（6）的第一面与第二面进行喷淋清洗。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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