广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种旋转式清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999232U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493644.4，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种旋转式清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转式清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种旋转式清洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括固定组件以及喷淋组件；固定组件用于固定衬底片；喷淋组件包括第一喷淋件、第二喷淋件以及喷淋驱动器；第一喷淋件上设有多个用于对固定组件上的衬底片的第一面进行喷淋清洗的第一喷孔；第二喷淋件上设有多个用于对固定组件上的衬底片的第二面进行喷淋清洗的第二喷孔；实现对衬底片的两个面同时喷淋清洗，极大提升清洗效果。喷淋驱动器与第一喷淋件和或第二喷淋件连接，用于带动第一喷淋件和或第二喷淋件旋转；实现旋转式喷淋清洗，相比于直冲喷淋清洗方式来说，具有更好的清洗效果。
本实用新型一种旋转式清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转式清洗装置，其特征在于，包括固定组件以及喷淋组件； 所述固定组件用于固定衬底片（3）； 所述喷淋组件包括第一喷淋件（11）、第二喷淋件（12）以及喷淋驱动器（13）； 所述第一喷淋件（11）上设有多个用于对所述固定组件上的衬底片（3）的第一面进行喷淋清洗的第一喷孔（111）； 所述第二喷淋件（12）上设有多个用于对所述固定组件上的衬底片（3）的第二面进行喷淋清洗的第二喷孔； 所述喷淋驱动器（13）与所述第一喷淋件（11）和或所述第二喷淋件（12）连接，用于带动所述第一喷淋件（11）和或所述第二喷淋件（12）旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东先导微电子科技有限公司，其通讯地址为：511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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