广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种摆动清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999263U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493513.6，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种摆动清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种摆动清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种摆动清洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括带有药液腔的清洗槽、摆杆、支架以及驱动器；摆杆通过转轴转动安装于支架上；驱动器用于带动摆杆摆动。通过驱动器带动摆杆在清洗槽中左右摆动，使得药液对摆动杆上的治具的衬底片形成来回冲洗，衬底片的清洗更加彻底，提升了清洗效果和清洗效率。而且，支架采用内设封闭安装腔的设计，方便驱动器集成安装，结构更加紧凑；再者，支架采用可拆卸安装设计，能够整体安装或取出，维护也更加方便。
本实用新型一种摆动清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种摆动清洗装置，其特征在于，包括清洗槽（1）、摆杆（3）、支架（2）以及驱动器（5）； 所述清洗槽（1）内设有容纳清洗药液的药液腔（11）； 所述清洗槽（1）上设有连通所述药液腔（11）的开口； 所述支架（2）可拆卸安装于所述药液腔（11）中，且其内部设有封闭的安装腔； 所述摆杆（3）的第一面设有若干用于固定衬底片（6）的治具（4）； 所述摆杆（3）上与第一面相对立的第二面中心设有转轴； 所述摆杆（3）通过所述转轴转动安装于所述支架（2）上； 所述驱动器（5）安装于所述安装腔中，且与所述转轴连接，用于带动所述摆杆（3）绕所述转轴摆动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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