苏试宜特(深圳)检测技术有限公司刘宝露获国家专利权
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龙图腾网获悉苏试宜特(深圳)检测技术有限公司申请的专利外部沉积源输送装置及聚焦离子束沉积连线系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003013U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421494201.7,技术领域涉及:C23C14/46;该实用新型外部沉积源输送装置及聚焦离子束沉积连线系统是由刘宝露设计研发完成,并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本外部沉积源输送装置及聚焦离子束沉积连线系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种外部沉积源输送装置及聚焦离子束沉积连线系统,其中外部沉积源输送装置包括沉积源容器和沉积源输送机构,沉积源容器用于储存沉积源液,通过加热器使得沉积源挥发,利用沉积源输送机构输送至聚焦离子束机台。由于沉积源容器设置在机台外部,体积不受限制,可以储存更多沉积源,因此大大减少了更换耗材的次数,且在加装耗材的过程中不会破坏机台腔体内部的真空坏境,避免加料后的长时间复机过程,减小了系统异常的风险。聚焦离子束沉积连线系统包括外部沉积源输送装置和机台,用于通过沉积源形成的离子束进行镀线,沉积源输送机构内的气体通过聚焦离子束机台内的聚焦离子束针头进入机台腔体,并进行连线。
本实用新型外部沉积源输送装置及聚焦离子束沉积连线系统在权利要求书中公布了:1.一种外部沉积源输送装置,其特征在于,包括沉积源容器以及连接所述沉积源容器和外部聚焦离子束机台的沉积源输送机构; 所述沉积源容器包括装载沉积源的容器主体、加热所述容器主体内的沉积源使其气化的加热器和容器出气口; 所述沉积源输送机构包括管道以及依次设置于所述管道上的第一手动阀、压力侦测器和微量调节阀,所述管道一端与所述容器出气口连通,所述管道另一端与外部聚焦离子束机台的聚焦离子束针头连通,所述第一手动阀设置于靠近所述外部聚焦离子束机台一侧。
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