大连连城数控机器股份有限公司葛壮获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉大连连城数控机器股份有限公司申请的专利硅片烘干设备和硅片加工生产线获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223005216U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421486901.1，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型硅片烘干设备和硅片加工生产线是由葛壮;李岩;廉健;朱洪斌;季姝妤设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片烘干设备和硅片加工生产线在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种硅片烘干设备和硅片加工生产线，包括密封箱、分布于密封箱内腔的辐射加热装置和花篮，以及连通密封箱内腔的真空系统；每个花篮对应至少一组辐射加热装置，硅片均沿竖向延伸，间隔排布且平行插接于对应的花篮内；真空系统包括相互连通的负压部和负压泵，负压部连接于密封箱的内壁上，以抽走密封箱内腔的空气，其有益效果是在抽负压的过程中，空气会稳定的流过硅片的侧面，使得硅片两侧的流速和压强都接近，这样气体的流动过程几乎不会对硅片产生影响，进而能够避免抽真空过程产生振动，进而进一步避免硅片损坏。
本实用新型硅片烘干设备和硅片加工生产线在权利要求书中公布了：1.一种硅片烘干设备，其特征在于：包括密封箱1、分布于所述密封箱1内腔的辐射加热装置2和花篮3，以及连通所述密封箱1内腔的真空系统4； 每个所述花篮3对应至少一组所述辐射加热装置2，所述硅片均沿竖向延伸，间隔排布且平行插接于对应的所述花篮3内； 所述真空系统4包括相互连通的负压部41和负压泵42，所述负压部41连接于所述密封箱1的内壁上，以抽走所述密封箱1内腔的空气。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人大连连城数控机器股份有限公司，其通讯地址为：116036 辽宁省大连市甘井子区营城子镇工业园区营日路40-1、40-2、40-3；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号