北京科技大学原晓芦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科技大学申请的专利一种埋沟式金刚石器件制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118571760B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410829294.2，技术领域涉及：H10D30/01；该发明授权一种埋沟式金刚石器件制备方法是由原晓芦;李成明;刘金龙;赵子辰;王文瑞设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种埋沟式金刚石器件制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种埋沟式金刚石器件的制备方法，属于超宽禁带半导体器件领域。其特征在于，包括以下步骤：1）设计器件结构，清洗金刚石衬底；2）在金刚石衬底上制备多层石墨烯结构；3）在石墨烯层上外延生长金刚石层；4）镀制源、漏、栅电极，完成器件制备。本发明将多层石墨烯结构作为隐埋沟道，外延金刚石层作为部分栅氧，具有提高金刚石器件沟道迁移率、击穿电压、增大输出功率的优点。
本发明授权一种埋沟式金刚石器件制备方法在权利要求书中公布了：1.一种埋沟式金刚石器件制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1）设计器件结构，清洗金刚石衬底； 2）在金刚石衬底上制备多层石墨烯结构； 3）在石墨烯层上外延生长金刚石层； 4）将金刚石进行氧等离子体处理，形成氧终端隔离；然后镀制源、漏、栅电极，完成器件制备。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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