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龙图腾网获悉北京莱泽光电技术有限公司申请的专利一种激光焦点像面旋转仪及激光焦点像面旋转方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115971648B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310161782.6，技术领域涉及：B23K26/08；该发明授权一种激光焦点像面旋转仪及激光焦点像面旋转方法是由印雄飞;王怡鹏;刘庆京;朱凯设计研发完成，并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光焦点像面旋转仪及激光焦点像面旋转方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种激光焦点像面旋转仪及激光焦点像面旋转方法，属于半导体加工技术领域，解决了传统晶圆切割宽度无法满足高精度加工需求的问题。一种激光焦点像面旋转仪，包括伺服电机、精密传动装置、棱镜底座、道威棱镜、运动控制卡和电机驱动器，一种激光焦点像面旋转仪控制方法，具体步骤包括：预设晶圆承载台运动参数、生成激光焦点像面旋转参数、激光切割仪进行切割和跟随切割轨迹控制焦点。本发明威棱镜可以与晶圆的运动轨迹相互配合，光的焦点椭圆光斑短轴与切割方向始终垂直，保证切割效果，避满足晶圆切割的高精度加工需求，实现实时、连续的不同运动轨迹的切割工作，降低了生产成本，提升了加工精度和加工效率。

本发明授权一种激光焦点像面旋转仪及激光焦点像面旋转方法在权利要求书中公布了：1.一种激光焦点像面旋转仪的激光焦点像面旋转方法，其特征在于，所述激光焦点像面旋转仪包括伺服电机3、精密传动装置4、棱镜底座5、道威棱镜10、运动控制卡9、电机驱动器8和激光位移计；所述伺服电机3的输出轴连接有精密传动装置4、精密传动装置4连接有棱镜底座5，棱镜底座5中部安装有道威棱镜10，所述伺服电机3通过第一控制线连接有电机驱动器8，电机驱动器8通过第二控制线连接有运动控制卡9； 所述精密传动装置4包括传动壳401、第一传动齿轮402和第二传动齿轮403；传动壳401与第一传动齿轮402和第二传动齿轮403转动连接，所述第一传动齿轮402与第二传动齿轮403啮合；伺服电机3带动第一传动齿轮402转动，第一传动齿轮402带动第二传动齿轮403转动，第二传动齿轮403带动棱镜底座5转动，精密传动装置4的设置保证了第二传动齿轮403中间的空置位置激光光路能够进行传播，不会发生干涉； 所述棱镜底座5包括连接柱501、连接板502、螺栓504和压紧片503；所述连接柱501中部连接均安装有连接板502，连接板502内开设有螺纹孔，螺纹孔内均安装有螺栓504，螺栓504之间通过压紧片503连接； 连接柱501上端连接第二传动齿轮403，使连接柱501跟随第二传动齿轮403的转动而转动，连接板502、螺栓504和压紧片503的设置使道威棱镜10固定在连接柱501上，通过松动螺栓504对道威棱镜10的位置进行微调，确保激光光路与道威棱镜10的纵轴重合； 所述连接柱501一侧安装有压电陶瓷6，压电陶瓷6另一侧安装有聚焦镜头7；压电陶瓷6用于控制聚焦镜头7的高度，实现对激光焦点高度的控制； 所述激光焦点像面旋转仪的激光焦点像面旋转方法包括如下步骤： 步骤1，预设晶圆承载台运动参数：激光焦点像面旋转仪安装在激光切割仪内，激光切割仪包括晶圆承载台，激光切割仪内的晶圆进行运动进而实现对晶圆的切割，通过预设晶圆承载台的运动方向和速度参数实现控制对晶圆切割； 步骤2，生成激光焦点像面旋转参数：运动控制卡9根据预设晶圆承载台运动参数生成激光焦点像面旋转参数； 所述激光焦点像面旋转仪还包括激光位移计，激光位移计设置在激光切割仪上，激光位移计预先检测待切割轨迹上的晶圆表面高度变化，在晶圆进行激光切割时通过控制压电陶瓷6进而控制聚焦镜头7使激光焦点始终位于晶圆内部； 步骤3，激光切割仪进行切割：晶圆承载台按照预设的晶圆承载台运动参数进行运动，在到达切割位置时启动激光发生装置，生成用于切割的激光焦点； 步骤4，跟随切割轨迹控制焦点：根据生成的激光焦点像面旋转参数，激光焦点像面旋转仪控制激光焦点椭圆光斑短轴对晶圆内部进行切割。

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