恭喜格科微电子(上海)有限公司杜柯获国家专利权
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龙图腾网恭喜格科微电子(上海)有限公司申请的专利纳米压印模具、制作方法及指纹识别芯片的制作工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114624956B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011438609.9,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权纳米压印模具、制作方法及指纹识别芯片的制作工艺是由杜柯;张超设计研发完成,并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳米压印模具、制作方法及指纹识别芯片的制作工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种纳米压印模具、制作方法及指纹识别芯片的制作工艺,其中,所述纳米压印模具的制作方法,包括:在半导体衬底上依次形成多层厚度可控的半导体膜,并对其中至少一层半导体膜进行高精度的图形化,以通过这些图形化的半导体膜的组合,形成三维立体的所述纳米压印模具。所述纳米压印模具的形状能够通过图形化的半导体膜的精准控制,实现高精度可控的形状。可用以匹配任意指纹识别芯片微镜头以及其他CMOS图像传感器的微镜头。
本发明授权纳米压印模具、制作方法及指纹识别芯片的制作工艺在权利要求书中公布了:1.一种纳米压印模具的制作方法,其特征在于,包括: 在半导体衬底上依次形成多层厚度可控的半导体膜,并对其中至少一层半导体膜进行高精度的图形化,以通过这些图形化的半导体膜的组合,形成三维立体的所述纳米压印模具; 第n层半导体图形的边缘覆盖第n-1层半导体图形的边缘或者第n-1层半导体图形的边缘超过第n层半导体图形的边缘。
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