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龙图腾网恭喜中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司申请的专利晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114545315B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011341930.5，技术领域涉及：G01R35/00；该发明授权晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法是由郑相贤;曲扬设计研发完成，并于2020-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法，引入了两种类型的探卡来辅助实现，包括I型探卡和II型探卡，I型探卡被配置为当与探针接口板连接时，将晶圆测试仪各通道的驱动管脚和同一通道的IO管脚一一对应地连接，II型探卡被配置为当与探针接口板连接时，将晶圆测试仪各奇数通道的IO管脚和各偶数通道的IO管脚一一对应地连接。本发明能够快速检测出晶圆测试仪的异常通道。

本发明授权晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试仪的异常通道检测系统，所述晶圆测试仪包括测试头以及位于所述测试头上的探针接口板，所述探针接口板用于引出晶圆测试仪各通道的驱动管脚和IO管脚上的信号，其特征在于，所述异常通道检测系统包括： 驱动单元，被配置为当所述探针接口板连接至I型探卡时，在晶圆测试仪各通道的驱动管脚上产生相同波形的第一驱动信号，或者，当所述探针接口板连接至II型探卡时，在晶圆测试仪的各奇数通道的IO管脚上产生相同波形的第二驱动信号，或者，当所述探针接口板连接至II型探卡时，在晶圆测试仪的各偶数通道的IO管脚上产生相同波形的第三驱动信号，所述第一驱动信号、第二驱动信号及第三驱动信号均通过所述探针接口板输出； 各通道的电压比较单元，被配置为根据各通道输入的第一驱动信号、第二驱动信号或者第三驱动信号，分别生成各通道的输出电压随时间变化的V-T曲线图； 判断单元，被配置为根据各通道的V-T曲线图判断各通道是否为异常通道； 其中，所述I型探卡，适配于所述探针接口板，所述I型探卡上设置有与所述探针接口板引出的晶圆测试仪各通道的驱动管脚和IO管脚相对应的连接端口，对应于同一通道的驱动管脚和IO管脚的两个连接端口之间是连通的； 所述II型探卡，适配于所述探针接口板，所述II型探卡上设置有与所述探针接口板引出的晶圆测试仪各通道的IO管脚相对应的连接端口，对应于各奇数通道的IO管脚的连接端口与对应于各偶数通道的IO管脚的连接端口之间保持一一对应地连接。

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