恭喜上海谙邦半导体设备有限公司邱勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112259436B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011278984.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子体处理装置是由邱勇;张鹏兵;陈世名设计研发完成，并于2020-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体处理装置在说明书摘要公布了：一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板组件；所述等离子体通道板组件包括：等离子体通道板；位于等离子体通道板侧部的定位件，所述定位件的弹性模量小于所述等离子体通道板的弹性模量；位于所述等离子体通道板上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤。
本发明授权一种等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板组件； 所述等离子体通道板组件包括：等离子体通道板，所述等离子体通道板的材料为导电材料或绝缘材料；位于等离子体通道板侧部的定位件，所述定位件的弹性模量小于或等于1GPa，所述定位件的弹性模量小于所述等离子体通道板的弹性模量； 位于所述等离子体通道板上方的等离子体发生单元； 所述定位件与等离子体通道板为一体式结构； 所述定位件的数量为若干个，所述定位件沿着所述等离子体通道板的周边均匀分布； 所述等离子体通道板组件还包括：支撑件，所述支撑件位于所述等离子体通道板的边缘区域的底部，所述支撑件与所述反应腔主体固定连接； 所述反应腔主体具有顶壁板，所述顶壁板中具有贯穿所述顶壁板的开口；所述等离子体通道板和所述定位件嵌在所述开口中；所述支撑件还延伸至部分所述顶壁板的下方；所述等离子体通道板组件还包括：紧固件，所述紧固件紧固所述支撑件至所述顶壁板。
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