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龙图腾网恭喜光驰科技(上海)有限公司申请的专利光学薄膜用溅射阴极布气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111876742B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010909278.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权光学薄膜用溅射阴极布气系统是由靳伟;戴秀海;陈建飞设计研发完成，并于2020-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学薄膜用溅射阴极布气系统在说明书摘要公布了：本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种光学薄膜用溅射阴极布气系统，系统包括至少一段双套管管路，双套管管路连接有气体质量流量控制器且其输送的工艺气体的质量及流量由气体质量流量控制器控制；双套管管路由内管以及套设在内管外围的外管构成，内管和外管上分别开设有出气孔。本发明的优点是：1）工艺气体由多段式布局，并由气体质量流量控制器分别独立控制，可以根据工艺需求分段式的调节进入阴极单元腔体的气体的流量；2）双套管的使用，可以有效的减小单段的外管上分布的各个出气孔处的压差；3）气流传输导流挡板可以使气体多次反射并且引导气体往靶面定向流出；4）扩散导流板可以控制引导气体进入腔体内部的方向。

本发明授权光学薄膜用溅射阴极布气系统在权利要求书中公布了：1.一种光学薄膜用溅射阴极布气系统，设置在磁控溅射阴极单元内，其特征在于：所述系统包括至少一段双套管管路，所述双套管管路连接有气体质量流量控制器且其输送的工艺气体的质量及流量由所述气体质量流量控制器控制；所述双套管管路由内管以及套设在所述内管外围的外管构成，所述内管和所述外管上分别开设有出气孔，所述内管和所述外管上的所述出气孔均呈阵列式布置； 在所述外管的外围设置有气流传输引导结构，所述气流传输引导结构用于对所述外管所输送的工艺气体进行均压、分流和引导； 气流传输引导结构包括气流传输导流挡板，该气流传输导流挡板包括两部分板体,其一是置于外管出气孔方向上方的上板体,其二是位于上板体下方的下板体,上、下板体的对应侧端设置有弯折结构,以使气流可在上、下板体之间进行反射,从而实现气体的均压、分流和引导，所述工艺气体经所述上板体和所述下板体的反射及导向后达到磁控溅射阴极单元内的靶材表面。

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