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龙图腾网恭喜东芝存储器株式会社申请的专利缺陷检查装置及缺陷检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110896038B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910093769.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权缺陷检查装置及缺陷检查方法是由野岛和弘;手塚知秀;大西笃志;山田一弘;野嶋茂树;滨口晶设计研发完成，并于2019-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷检查装置及缺陷检查方法在说明书摘要公布了：实施方式提供一种能够在半导体制造的缺陷检查中缩短检查时间的缺陷检查装置及缺陷检查方法。实施方式的缺陷检查装置具备获取部、剪辑部、第1赋予部、匹配部及核对部。获取部获取表示在晶圆上展开的图案的电子信息。剪辑部将设计数据所示的图形中与电子信息对应的部分进行剪辑而获得设计信息。第1赋予部对电子信息所示的各图案赋予第1编号，且对设计信息所示的各图案赋予第2编号。匹配部创建表示第1编号与第2编号的对应关系的关系信息。核对部基于关系信息及与设计信息所示的各图案对应的节点信息，核对电子信息所示的图案是否包含晶圆的电路上的缺陷。

本发明授权缺陷检查装置及缺陷检查方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检查装置，具备： 获取部，获取表示在晶圆上展开的图案的电子信息； 剪辑部，将设计数据所示的图形中与所述电子信息对应的部分进行剪辑而获得设计信息； 第1赋予部，对所述电子信息所示的各图案赋予第1编号，对所述设计信息所示的各图案赋予第2编号； 匹配部，创建表示所述第1编号与所述第2编号的对应关系的关系信息； 核对部，基于所述关系信息及与所述设计信息所示的各图案对应的节点信息，核对所述电子信息所示的图案是否包含所述晶圆的电路上的缺陷； 转换部，获得将由所述获取部获取的所述电子信息转换成CADComputerAidedDesign数据所得的转换信息； 分类部，基于由所述匹配部创建的所述关系信息的内容，将所述转换信息的缺陷种类进行分类；以及 第2赋予部，对所述设计信息所示的各图案赋予节点编号作为所述节点信息；且 所述第1赋予部对所述转换信息所示的各图案赋予所述第1编号； 所述核对部基于所述关系信息及所述节点信息，核对所述转换信息所示的图案是否包含所述晶圆的电路上的缺陷； 所述核对部按照由所述分类部分类所得的所述缺陷种类，核对所述转换信息所示的图案是否包含所述晶圆的电路上的缺陷； 所述核对部基于所述关系信息及所述节点编号，核对所述转换信息所示的图案是否包含所述晶圆的电路上的缺陷； 所述核对部在由所述分类部示出所述转换信息的所述缺陷种类为短路状态的情况下，根据所述关系信息确定出与所述转换信息中处于短路状态的图案对应的所述设计信息中的图案，根据确定出的所述设计信息中的图案与所述节点编号的对应关系，核对所述转换信息所示的图案是否包含所述晶圆的电路上的缺陷。

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