恭喜之江实验室胡勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜之江实验室申请的专利光学波导物理参数的提取装置及其提取方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120010064B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510504936.6,技术领域涉及:G02B6/293;该发明授权光学波导物理参数的提取装置及其提取方法是由胡勇;虞绍良;杜清扬;顾佳新设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学波导物理参数的提取装置及其提取方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种光学波导物理参数的提取装置及其提取方法。装置包括激光器模块、耦合输入输出模块、光子晶体微环谐振腔及响应谱探测模块,光子晶体微环谐振腔位于目标光学波导的邻近区域,其包括封闭圆环,其平均宽度等于目标光学波导的宽度但沿圆周方向宽度进行周期性调制,且平均半径大于预设值。方法包括:提供该装置;连续扫描激光器模块的波长,测量单个光子晶体微环谐振腔的响应谱线;根据单个光子晶体微环谐振腔的响应谱线获得目标光学波导的实际有效折射率及实际群折射率;预先仿真得到光学波导的宽度、厚度与有效折射率、群折射率的映射关系;基于实际有效折射率和实际群折射率通过映射关系,确定目标光学波导的实际宽度和实际厚度。
本发明授权光学波导物理参数的提取装置及其提取方法在权利要求书中公布了:1.一种光学波导物理参数的提取装置,用于对晶圆中目标光学波导的物理参数进行提取,其特征在于:所述提取装置包括激光器模块、耦合输入模块、耦合输出模块、连接光学波导、单个光子晶体微环谐振腔及响应谱探测模块,所述激光器模块与所述耦合输入模块连接,所述响应谱探测模块与所述耦合输出模块连接,所述耦合输入模块和所述耦合输出模块之间通过所述连接光学波导相连接,所述光子晶体微环谐振腔用于与所述连接光学波导相耦合,其中,所述光子晶体微环谐振腔位于所述目标光学波导的邻近区域,所述光子晶体微环谐振腔包括封闭的圆环,所述圆环的平均宽度等于所述目标光学波导的宽度但沿圆周方向宽度进行周期性调制,且所述圆环的平均半径大于预设值;所述激光器模块用于为所述提取装置提供光源,所述激光器模块的波长连续可调,所述激光器模块的波长范围覆盖所述目标光学波导关注的波长范围及所述光子晶体微环谐振腔的特征波长。
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