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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利基板清洗装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113498548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080017390.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板清洗装置及其方法是由S·M·苏尼卡;J·古鲁萨米;J·兰加拉简设计研发完成，并于2020-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板清洗装置及其方法在说明书摘要公布了：基板清洗装置可包含被配置成固持基板的腔室主体以及刷组件。刷组件可包含第一滚筒、第二滚筒和在第一滚筒与第二滚筒之间延伸的带。第一滚筒和第二滚筒中的至少一者可在第一位置与第二位置之间可移动，在第一位置处带接触设置在腔室主体中的基板的第一表面，在第二位置处带与第一表面间隔开。公开了其他基板清洗装置和清洗基板的方法。

本发明授权基板清洗装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种基板清洗装置，包括： 腔室主体，所述腔室主体被配置成固持基板； 第一刷组件，所述第一刷组件包含第一滚筒、第二滚筒、第三滚筒、以及在所述第一滚筒、所述第二滚筒与所述第三滚筒之间延伸的第一带，其中所述第一带包含在所述第一刷组件的所述第二滚筒与所述第三滚筒之间的第一直线区段，并且其中所述第一刷组件的所述第二滚筒和所述第三滚筒能在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置处所述第一刷组件的所述第二滚筒和所述第三滚筒经由所述第一带与所述基板相邻，使得所述第一带的整个所述第一直线区段接触设置在所述腔室主体中的基板的第一表面，在所述第二位置处所述第一带与所述第一表面间隔开；以及 第二刷组件，所述第二刷组件包含第一滚筒、第二滚筒、第三滚筒、以及在所述第一滚筒、所述第二滚筒与所述第三滚筒之间延伸的第二带，其中所述第二带包含在所述第二刷组件的所述第二滚筒与所述第三滚筒之间的第一直线区段，并且其中所述第二刷组件的所述第二滚筒和所述第三滚筒能在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置处所述第二刷组件的所述第二滚筒和所述第三滚筒经由所述第二带与所述基板相邻，使得所述第二带的整个所述第一直线区段接触所述基板的第二表面，在所述第二位置处所述第二带与所述第二表面间隔开。

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