恭喜西安交通大学王宏兴获国家专利权
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龙图腾网恭喜西安交通大学申请的专利一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109068538B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201810968234.3,技术领域涉及:H05K7/20;该发明授权一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法是由王宏兴;符娇;朱天飞;刘璋成;邵国庆;王艳丰;刘宗琛;赵丹;常晓慧;王若铮;侯洵设计研发完成,并于2018-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构,包括层叠设置的金刚石衬底和金刚石外延层,在金刚石衬底内设置若干条具有一定间隔的金刚石微流通道,金刚石外延层用于在其表面键合待散热对象。本发明还公开了该散热器的制作方法,解决了传统散热片不能应用在高温,高辐射,强腐蚀等极端环境下的问题。
本发明授权一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构,其特征在于,包括层叠设置的金刚石衬底(1)和金刚石外延层(3),所述的金刚石衬底(1)内设置若干条具有一定间隔的金刚石微流通道(2),所述的金刚石外延层(3)用于在其表面键合待散热对象; 其中,所述金刚石外延层(3)为在金刚石衬底(1)设置沟槽的表面上外延得到的,其生长条件为:反应气体为甲烷,氢气,气体流量分别为300sccm和30sccm,生长气压120Torr,衬底温度为900℃; 所述金刚石微流通道(2)的通道宽度(6)为1μm-100μm,所述金刚石微流通道(2)的通道深度(5)与通道宽度(6)的比值大于1:2。
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