Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
服务订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
首页 专利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 长江存储科技有限责任公司黄腾获国家专利权

长江存储科技有限责任公司黄腾获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利半导体器件及其制备方法、三维存储器及存储系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114141709B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111408938.3,技术领域涉及:H10D84/03;该发明授权半导体器件及其制备方法、三维存储器及存储系统是由黄腾设计研发完成,并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体器件及其制备方法、三维存储器及存储系统在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种半导体器件及其制备方法、三维存储器及存储系统。其包括:在衬底中形成间隔设置的高压阱区和低压阱区;对应高压阱区形成第一栅极氧化层和对应低压阱区形成第二栅极氧化层于衬底上;分别形成第一栅极和第二栅极于第一栅极氧化层和第二栅极氧化层上;分别形成第一介质部和第二介质部于第一栅极上表面和第二栅极上表面;形成位于第一栅极两侧的第一开孔和第二开孔于第一栅极氧化层中,或形成第一开孔和第二开孔于第一栅极氧化层中、形成第三开孔于第一介质部中以及形成第四开孔于第二介质部中;对应第一开孔和第二开孔形成第一金属接触结构于衬底中。本发明实施例不需要额外新增SAB制程,可以简化工艺工序,降低工艺成本。

本发明授权半导体器件及其制备方法、三维存储器及存储系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件的制备方法,其特征在于,包括: 提供衬底,所述衬底中形成有间隔设置的高压阱区和低压阱区; 形成第一栅极氧化层和第二栅极氧化层于所述衬底上,且所述第一栅极氧化层对应所述高压阱区,所述第二栅极氧化层对应所述低压阱区; 分别形成第一栅极和第二栅极于所述第一栅极氧化层和所述第二栅极氧化层上; 形成层叠的氧化层、氮化层覆盖于所述衬底、所述第一栅极以及所述第二栅极上; 对所述氧化层、所述氮化层进行处理,以形成位于所述第一栅极侧壁的第一侧墙和位于所述第一栅极远离所述第一栅极氧化层的表面的第一介质部,以及形成位于所述第二栅极侧壁的第二侧墙和位于所述第二栅极远离所述第二栅极氧化层的表面的第二介质部; 形成第一开孔和第二开孔于所述第一栅极氧化层中、形成第三开孔于所述第一介质部中以及形成第四开孔于所述第二介质部中,且所述第一开孔与所述第二开孔分别位于所述第一栅极的两侧;以及 形成金属接触层,所述金属接触层包括形成于所述第一开孔与所述第二开孔中的第一金属接触结构、形成于所述第三开孔中的第三金属接触结构以及形成于所述第四开孔中的第四金属接触结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长江存储科技有限责任公司,其通讯地址为:430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。