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隆基绿能科技股份有限公司张伟建获国家专利权

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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利直拉单晶硅的温度控制方法、电子设备和直拉单晶炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116103750B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111333834.0,技术领域涉及:C30B15/22;该发明授权直拉单晶硅的温度控制方法、电子设备和直拉单晶炉是由张伟建;杨正华;王正远;郭力;杜婷婷设计研发完成,并于2021-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

直拉单晶硅的温度控制方法、电子设备和直拉单晶炉在说明书摘要公布了:本公开涉及一种直拉单晶硅的温度控制方法、电子设备和直拉单晶炉,该方法包括:在确定坩埚中硅液的液面温度位于预设的温度区间的情况下,按照硅液的引晶加热功率控制加热装置对硅液进行加热,并控制坩埚以变化的转动速度进行转动。如此,通过控制硅液以变化的转动速度进行转动,可以破坏硅液在坩埚转动过程中形成的稳态,便于硅液内的换热,进而可以使硅液的温度快速稳定,减少硅液的温度波动。

本发明授权直拉单晶硅的温度控制方法、电子设备和直拉单晶炉在权利要求书中公布了:1.一种直拉单晶硅的温度控制方法,其特征在于,包括: 在确定坩埚中硅液的液面温度位于预设的温度区间的情况下,确定所述硅液的液面温度接近引晶温度,按照硅液的引晶加热功率控制加热装置对硅液进行加热,并控制所述坩埚以变化的转动速度进行转动; 其中,所述控制所述坩埚以变化的转动速度进行转动,包括: 根据硅液引晶时所述坩埚的基础转动速度,确定大于所述基础转动速度的最大转动速度、以及小于所述基础转动速度的最小转动速度; 循环控制所述坩埚按照所述最大转动速度与所述最小转动速度转动,其中,所述坩埚在所述最大转动速度的转动持续时长,少于所述坩埚在所述最小转动速度的转动持续时长; 在循环控制所述坩埚依次按照所述最大转动速度与所述最小转动速度转动达到第一预设时长的情况下,控制所述坩埚按照所述基础转动速度持续转动第二预设时长; 若检测到在第二预设时长内硅液液面温度的温度差值超过预设的差值阈值,则重新执行所述循环控制所述坩埚依次按照所述最大转动速度与所述最小转动速度转动的步骤; 若检测到在第二预设时长内硅液液面温度的温度差值与小于或等于预设的差值阈值、且第二预设时长之后的第三预设时长内所述液面温度的温度差值小于或等于所述差值阈值,则执行预设的引晶控制策略。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人隆基绿能科技股份有限公司,其通讯地址为:710100 陕西省西安市长安区航天中路388号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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