恭喜聚时科技(上海)有限公司颜梦启获国家专利权
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龙图腾网恭喜聚时科技(上海)有限公司申请的专利一种定位件、晶圆定位装置及晶圆检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223052126U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421785216.9,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种定位件、晶圆定位装置及晶圆检测设备是由颜梦启;王理华;陈克信;郑军设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定位件、晶圆定位装置及晶圆检测设备在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体前道检测技术领域,涉及一种晶圆放置台,尤其是涉及一种定位件、晶圆定位装置及晶圆检测设备。包括:定位座、底座、定位轴,活动套接在定位轴上的定位套;还包括在定位套上端面中心位置,沿轴向和周向进行延伸形成的凸起部,凸起部与定位套同轴心设置,凸起部与定位套上端面形成放置位;通过对从动盘提供外力使从动盘相对固定盘进行旋转运动,并通过从动盘的旋转运动带动多个定位件进行相向移动,从而实现对于定位平面的尺寸变化,实现对于待检测晶圆在机台上的转移放置,实现对于晶圆的交接。并且通过对定位件设置对应结构实现对于晶圆的定位。降低了机构运动的复杂性,提高了机构整体的控制准确性。
本实用新型一种定位件、晶圆定位装置及晶圆检测设备在权利要求书中公布了:1.一种定位件,其特征在于,包括: 定位轴以及与所述定位轴一端连接的水平端面,所述定位轴相对于所述端面为偏心关系;在所述端面中心位置沿轴向和周向进行延伸形成凸起部,所述凸起部的水平横截面面积小于端面的水平横截面面积,所述凸起部与所述端面形成放置位。
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