矽电半导体设备(深圳)股份有限公司郑吉龙获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利晶圆扩膜后的中转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052104U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421692419.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆扩膜后的中转装置是由郑吉龙设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆扩膜后的中转装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆扩膜后的中转装置，涉及半导体生产运输技术领域，其中，包括基座、支撑部件、夹取部件和驱动部件；支撑部件的数量为两个，两个支撑部件均滑动安装于基座；夹取部件用于将扩膜后的晶圆夹取至两个支撑部件上；驱动部件包括主动轮、从动轮、同步带和驱动子部件，驱动子部件安装于基座，主动轮套设于驱动子部件的输出轴，从动轮转动安装于基座，主动轮和从动轮通过同步带传动连接，同步带包括相对设置的第一连接段和第二连接段，一支撑部件与第一连接段连接，另一支撑部件与第二连接段连接。每一次支撑部件上都只存在一个晶圆，机械手就只会夹取该晶圆，就不会出现机械手与其余晶圆发生碰撞的可能。
本实用新型晶圆扩膜后的中转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆扩膜后的中转装置，其特征在于，包括： 基座； 支撑部件，所述支撑部件的数量为两个，两个所述支撑部件均滑动安装于所述基座； 夹取部件，所述夹取部件用于将扩膜后的晶圆夹取至两个所述支撑部件上； 驱动部件，所述驱动部件包括主动轮、从动轮、同步带和驱动子部件，所述驱动子部件安装于所述基座，所述主动轮套设于所述驱动子部件的输出轴，所述从动轮转动安装于所述基座，所述主动轮和所述从动轮通过所述同步带传动连接，所述同步带包括相对设置的第一连接段和第二连接段，一所述支撑部件与所述第一连接段连接，另一所述支撑部件与所述第二连接段连接，所述驱动子部件的输出轴转动，以驱动两个所述支撑部件相互靠近或远离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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