恭喜盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司周益初获国家专利权
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龙图腾网恭喜盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆理片读码一体机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119275158B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411247449.8,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权一种晶圆理片读码一体机是由周益初;卢利军;周亭成;任杰;乔赛赛设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆理片读码一体机在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆制造技术领域,尤其是一种晶圆理片读码一体机,其兼具有晶圆理片功能和ID标识码读取功能。在执行晶圆理片进程中,晶圆外缘因受到来自于周向拨片组件的摩擦力作用而持续地执行周向旋转运动,定位缺口的方位得以发生变动,且后续晶圆巧妙借助于自身重力其定位缺口被周向限位组件自行锁定,此时,即意味着某个或某些晶圆被拨正,其余晶圆继续执行周向旋转运动,同样以定位缺口作为拨正基准,直至被全部拨正,整个晶圆拨正过程快捷、迅速,且被拨正后的同批次晶圆之间保持有良好的姿态一致性。再者,晶圆理片完毕后,无需工位转移,读码单元即可逐片地完成同批次晶圆的ID标识码读取、识别操作。
本发明授权一种晶圆理片读码一体机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆理片读码一体机,包括机架、晶圆篮、理片机构、顶片机构以及读码单元;所述晶圆篮用来批量地盛装晶圆,且其以所述机架作为落放、安装基础;所述理片机构和所述顶片机构均隐于所述机架的空腔中,且布置于所述晶圆篮的正下方;所述读码单元用来逐片地读取经由所述理片机构拨正的、且被所述顶片机构顶升至设定高度的晶圆的ID标识码,其由所述机架进行负担,其特征在于,所述理片机构包括有支撑架、升降动力装置、周向拨片组件以及周向限位组件;所述周向拨片组件和所述周向限位组件相配套应用,两者均由所述支撑架进行负担;所述支撑架在来自于所述升降动力装置的驱动力作用下沿着上下方向执行位移运动,而所述周向拨片组件和所述周向限位组件执行跟随性位移运动;当预执行晶圆理片操作时,所述周向拨片组件和所述周向限位组件同步地执行上升运动,直至所述周向拨片组件同时与多个晶圆相顶触,随后,多个晶圆的外缘因受到来自于所述周向拨片组件的摩擦力作用而持续地执行周向旋转运动,与此同时,其上定向缺口的相对方位发生变化,加之,在用来对定向缺口进行方位锁定的所述周向限位组件的辅助作用下,多个晶圆得以被逐片拨正; 所述周向拨片组件包括有拨片辊、传动轴以及第一同步带传动机构;所述周向限位组件包括有凵形微摆臂、理片梳、限位杆以及第二同步带传动机构;所述传动轴以所述支撑架作为安装基础,且其因受到来自于所述第一同步带传动机构的转动力矩作用而执行周向旋转运动;所述拨片辊以所述传动轴作为套装基础,且跟随所述传动轴同步地执行周向旋转运动,与之相顶触的晶圆得以持续地受到摩擦力作用;所述凵形微摆臂亦以所述传动轴作为套装基础,且其因受到来自于所述第二同步带传动机构的转动力矩作用而独立地执行周向旋转运动,而非与所述传动轴保持同步;所述理片梳可拆卸地固定于所述凵形微摆臂上,且与多个晶圆保持对位;所述限位杆以所述理片梳作为插装基础,且各梳片齿均被横穿;在多个晶圆因受到来自于所述拨片辊的摩擦力作用而执行周向旋转运动的进程中,其上定向缺口的相对方位发生变化,与此同时,所述凵形微摆臂因受到转动力矩而执行周向旋转运动,直至所述限位杆与多个晶圆外缘相顶触,随着晶圆执行周向旋转运动进程的继续,多个定向缺口得以逐次被所述限位杆所深陷,此时,与之相对应的晶圆的周向旋转自由度被限定为零。
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