恭喜上海隐冠半导体技术有限公司唐艳文获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利顶板组件及具有其的运动定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114284193B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111471254.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权顶板组件及具有其的运动定位装置是由唐艳文;江旭初;袁嘉欣设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本顶板组件及具有其的运动定位装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种顶板组件及具有其的运动定位装置，顶板组件设置在运动定位装置的安装板上以用于承载并定位工件，顶板组件包括：顶板，设置在安装板上方以用于承载工件；多个顶板滑块，顶板通过位于其下方的多个顶板滑块与安装板上的顶板导轨可运动地连接，以在顶板电机定子和顶板电机动子的相互作用下相对于安装板运动；转接件，顶板电机定子安装在安装板上，顶板电机动子通过转接件与顶板连接；转接件包括多个支撑部，各个支撑部与顶板之间点接触且接触点均位于顶板滑块的正上方，顶板通过接触点向转接件提供竖直向上的支撑力，以解决现有技术中的XY运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题。
本发明授权顶板组件及具有其的运动定位装置在权利要求书中公布了：1.一种顶板组件，其特征在于，所述顶板组件设置在运动定位装置的安装板20上以用于承载工件并对所述工件定位，所述顶板组件包括： 顶板30，设置在所述安装板20上方以用于承载所述工件； 多个顶板滑块32，所述顶板30通过多个所述顶板滑块32与所述安装板20上的顶板导轨21之间可运动地连接，以在顶板电机定子22和顶板电机动子33的相互作用下相对于所述安装板20运动；多个所述顶板滑块32位于所述顶板30的下方； 转接件31，所述顶板电机定子22安装在所述安装板20上，所述顶板电机动子33通过所述转接件31与所述顶板30连接； 其中，所述转接件31包括多个支撑部，各个所述支撑部与所述顶板30之间均为点接触，各个所述支撑部与所述顶板30的接触点均位于所述顶板滑块32的正上方，所述顶板30通过所述接触点向所述转接件31提供竖直向上的支撑力。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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