恭喜佳能特机株式会社谷和宪获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851408B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110688650.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质是由谷和宪;小林康信设计研发完成，并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及从大型基板切出的基板的边缘对准，抑制作为输送目的地的成膜室中的对准的精度的降低。对准装置具备：基板支承部件，其对分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；边缘检测部件，其对支承于基板支承部件的基板的边缘进行检测；位置调整部件，其对支承于基板支承部件的基板的位置进行调整；以及控制部件，其对位置调整部件进行控制。获取部件获取支承于基板支承部件的基板的与在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制部件基于由边缘检测部件检测到的基板的边缘的位置信息和由获取部件获取的基板信息，对位置调整部件进行控制。
本发明授权对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，所述对准装置具备： 基板支承部件，其对分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板进行支承； 边缘检测部件，其对支承于所述基板支承部件的所述基板的边缘进行检测； 位置调整部件，其对支承于所述基板支承部件的所述基板的位置进行调整；以及 控制部件，其对所述位置调整部件进行控制， 其特征在于， 所述对准装置具备获取部件，所述获取部件获取支承于所述基板支承部件的基板的与在分割前的所述大型基板中的部位相关的基板信息， 所述控制部件基于由所述边缘检测部件检测到的所述基板的边缘的位置信息和由所述获取部件获取的所述基板信息，对所述位置调整部件进行控制， 在所述基板上形成有对准标记， 所述控制部件对所述位置调整部件进行控制，以使所述基板的位置向抑制在分割前的所述大型基板中的部位不同的基板的、基于所述对准标记的所述基板的中心位置的偏差的方向偏置。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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