恭喜总督科技股份有限公司宋茂炎获国家专利权
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龙图腾网恭喜总督科技股份有限公司申请的专利晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113284831B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010102278.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法是由宋茂炎设计研发完成，并于2020-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法在说明书摘要公布了：一种晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法，在第一、二机械臂活动范围内分别建置一载盘、一主校正机构、一晶圆校正机构及一置料机构，在第一机械臂上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，在第二机械臂上设有晶圆取放机构，利用主校正机构分别校正影像攫取组件、晶圆定位件装卸机构及晶圆取放机构至正确的位置，由第一机械臂驱动该影像攫取组件移至载盘其中一晶圆盘上方，并调整位置使其正确对应于该晶圆盘，再由第一机械臂驱动该晶圆定位件装卸机构移至该晶圆盘上，将晶圆盘周缘的晶圆定位件压环取下，另由第二机械臂驱动该晶圆取放机构将该晶圆盘上的晶圆移至该晶圆校正机构上，经读取该晶圆的编码之后，再将该晶圆放入置料机构中。
本发明授权晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，至少包括： 一第一机械臂，连结并受一控制模块驱动，在该第一机械臂的活动端上至少设有一影像攫取组件； 一第二机械臂，连结并受该控制模块驱动，在该第二机械臂的活动端上设有一晶圆取放机构； 一载盘，设置于该第一、二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，该载盘上设有至少一承置晶圆的晶圆盘； 一晶圆校正机构，设置于该第二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，该晶圆校正机构具有一可供放置晶圆的承置座，在该承置座上方设有一取像单元，以供读取置入的晶圆的编码及调整该晶圆的缺口； 一主校正机构，设置于该第一、二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，以供分别校正该影像攫取组件及晶圆取放机构的位置； 一置料机构，设置于该第二机械臂的活动范围内，供该第二机械臂置放由该载盘上卸下已加工完成的晶圆。
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