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龙图腾网获悉苏州和研精密科技有限公司申请的专利一种晶圆研磨设备及晶圆寻边定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119407631B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510012684.5，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种晶圆研磨设备及晶圆寻边定位方法是由袁慧珠;余胡平;李逸;陈强;严辉设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨设备及晶圆寻边定位方法在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片制造技术领域，提供了一种晶圆研磨设备及晶圆寻边定位方法，通过设置晶圆偏心定位组件将待加工晶圆放置在定位吸盘上进行旋转，并通过图像识别装置确定晶圆的圆心与晶圆放料吸盘的圆心的连线与X轴方向平行，从而实现Y轴方向的对准，然后通过控制单元控制搬运组件将晶圆沿X轴方向转移至晶圆放料吸盘上，从而实现X轴方向的补偿，进而实现晶圆的偏心校准，相对于现有机械定位在定位完成后，才进行真空吸附或者不吸附，存在较大变化量，同时对射传感器等检测装置因为其光斑的大小的存在相较于相机精度也存在较大差距，并且机械定位还存在机械加工的误差，相对于现有技术具有更高的定位精度，这样也有利于提高后续加工工艺的精度。

本发明授权一种晶圆研磨设备及晶圆寻边定位方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨设备，包括：上料组件、清洗组件、晶圆偏心定位组件，其特征在于，所述晶圆偏心定位组件包括： 晶圆放料吸盘，用于放置经偏心定位后的待加工晶圆； 定位吸盘，所述定位吸盘用于放置从上料平台传送过来的待加工晶圆，所述定位吸盘由旋转驱动机构驱动其旋转； 图像识别装置，所述图像识别装置设置在工作架上，用于获取所述待加工晶圆的图像信息，以确定所述待加工晶圆的圆心与所述晶圆放料吸盘沿Y轴方向的偏移量； 控制单元，所述控制单元与所述定位吸盘、旋转驱动机构以及图像识别装置电性连接，用于根据所述待加工晶圆的圆心与所述晶圆放料吸盘沿Y轴方向的偏移量，控制所述旋转驱动机构工作，以使得所述待加工晶圆的圆心与所述晶圆放料吸盘的圆心的连线与X轴方向平行，并根据待加工晶圆的圆心与所述图像识别装置视野内寻边标识的位置连线相对于X轴方向的角度，驱动所述晶圆放料吸盘上的寻边标识旋转至相同的角度； 搬运组件，所述搬运组件设置在所述工作架上；所述搬运组件通过Z轴驱动机构与所述工作架上的X轴驱动机构连接；所述控制单元与所述X轴驱动机构、Z轴驱动机构以及搬运组件电性连接，用于在确定所述待加工晶圆的圆心与所述晶圆放料吸盘的圆心的连线与X轴方向平行之后，控制所述搬运组件将所述待加工晶圆从所述定位吸盘上沿X轴方向转移至所述晶圆放料吸盘上，以进行后续研磨工艺； 所述待加工晶圆的圆心与所述晶圆放料吸盘的圆心沿X轴方向对齐的同时，所述晶圆的寻边过程与所述搬运组件沿X轴方向的移动过程同时进行。

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