上海思立微电子科技有限公司梁骥获国家专利权
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龙图腾网获悉上海思立微电子科技有限公司申请的专利超声波飞行传感器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113917443B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010662129.4，技术领域涉及：G01S7/521；该发明授权超声波飞行传感器及其制作方法是由梁骥;效烨辉;程泰毅设计研发完成，并于2020-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本超声波飞行传感器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种超声波飞行传感器及其制作方法，包括设置于半导体衬底内的空腔、设置于所述空腔上方且呈图案化设计的激励层及覆盖所述空腔并包裹图案化的所述激励层的弹性膜，其中，所述激励层包括第一电极层、第二电极层以及设置于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层。本发明在实现超声波飞行传感器微型化的前提下，以使得生产制作出的超声波飞行传感器能给达到预期的性能。进一步的，本发明在在对应空腔的弹性膜的边缘区域开设开孔，有利于减少弹性膜应力对超声波飞行传感器频率的影响。
本发明授权超声波飞行传感器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种超声波飞行传感器，其特征在于，利用半导体工艺制作且所述超声波飞行传感器包括： 空腔，所述空腔设置于半导体衬底； 激励层，设置于所述空腔的上方，所述激励层包括第一电极层、第二电极层以及设置于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层，所述激励层图案化； 弹性膜，覆盖所述空腔并包裹图案化的所述激励层，所述弹性膜设有开孔，所述开孔贯穿所述弹性膜与所述空腔连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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