韩国光洋热电系统有限公司金珉哲获国家专利权
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龙图腾网获悉韩国光洋热电系统有限公司申请的专利热处理炉的腔室冷却单元获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113776340B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010655539.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权热处理炉的腔室冷却单元是由金珉哲;中西识设计研发完成，并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理炉的腔室冷却单元在说明书摘要公布了：本发明公开热处理炉的腔室冷却单元。本发明的热处理炉的腔室冷却单元包括：热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。
本发明授权热处理炉的腔室冷却单元在权利要求书中公布了：1.一种热处理炉的腔室冷却单元，包括： 热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥； 冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及 至少一个冷却外套，其在所述腔室的外侧面上沿着所述腔室的垂直方向布置，以多个小区单位组装并形成所述腔室的外壁，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流， 所述冷却气流通道包括： 第一通道部，其形成在所述腔室的外部盒体和与所述外部盒体相隔的内部盒体之间；以及 第二通道部，其将由所述冷却外套形成的冷却气流导入所述第一通道部，并排出从所述第一通道部排出的流体， 在所述第一通道部中，冷却管以内置形式布置在所述腔室的外部盒体和与所述外部盒体相隔的内部盒体之间， 所述冷却外套包括主机壳体，所述主机壳体容纳供冷却水从外部导入并通过的冷却管，且内部具有形成冷却气流从而沿着所述腔室的冷却气流通道供气的空间， 所述第一通道部分别以水平方向形成于所述腔室的外部盒体和与所述外部盒体相隔的内部盒体的上下部， 所述第二通道部沿着所述腔室的外部盒体和与所述外部盒体相隔的内部盒体的垂直壁面以垂直方向形成。
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