徐州仟目科技集团有限公司王亚星获国家专利权
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龙图腾网获悉徐州仟目科技集团有限公司申请的专利一种砷化镓衬底的划裂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223085127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421906527.6，技术领域涉及：B28D5/02；该实用新型一种砷化镓衬底的划裂装置是由王亚星;李星;李从敏设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砷化镓衬底的划裂装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种砷化镓衬底的划裂装置，属于半导体制备设备技术领域，包括工作台，所述工作台上安装有旋转夹紧砷化镓衬底的限位装置，所述限位装置包括工作台上的限位环，所述限位环的外侧安装有上下调节压住砷化镓衬底的压块，所述压块的上端面为弧形结构，所述限位环上安装有驱动压块向下移动靠近砷化镓衬底的驱动装置，所述工作台的一侧安装有旋转切割砷化镓衬底划裂装置，本实用新型通过驱动装置驱动限位装置的压块靠近砷化镓衬底，对其上表面夹紧，通过切割装置对砷化镓衬底切边，切割完成的时候，驱动装置复位，通过弹簧自动推动压块复位，可轻松取出切割后的砷化镓衬底，结构简单合理，非常适用于质量要求高的场合。
本实用新型一种砷化镓衬底的划裂装置在权利要求书中公布了：1.一种砷化镓衬底的划裂装置，包括工作台1，其特征在于，所述工作台1上安装有旋转夹紧砷化镓衬底的限位装置2； 所述限位装置2包括工作台1上的限位环201，所述限位环201的外侧安装有上下调节压住砷化镓衬底的压块202，所述压块202的上端面为弧形结构，所述限位环201上安装有驱动压块202向下移动靠近砷化镓衬底的驱动装置3； 所述工作台1的一侧安装有旋转切割砷化镓衬底的划裂装置。
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