天津华慧新科智能装备有限公司曲迪获国家专利权
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龙图腾网获悉天津华慧新科智能装备有限公司申请的专利一种衬底清洗花篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092829U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421896331.3，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种衬底清洗花篮是由曲迪;宋学颖;王谦设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种衬底清洗花篮在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种衬底清洗花篮，属于半导体芯片制造技术领域，包括花篮本体，其特征在于：在所述花篮本体上表面开设有梯形槽孔；所述梯形槽孔的上端开口宽度大于下端开口宽度；在所述梯形槽孔的侧壁开设有M个放置槽；所述放置槽与上底的夹角不等于90度；在所述放置槽的底部开设有N个放置槽通孔；其中：M和N均为大于0的自然数。本实用新型采用上述技术方案，改变传统晶圆竖直放置角度，加工面朝下下降低溶液内脏污附着的风险；另外放置槽可兼容多类型尺寸，避免制作多规格清洗篮，降低了生产成本，而且结构较为简单。
本实用新型一种衬底清洗花篮在权利要求书中公布了：1.一种衬底清洗花篮，包括花篮本体1，其特征在于：在所述花篮本体1上表面开设有梯形槽孔；所述梯形槽孔的上端开口宽度大于下端开口宽度；在所述梯形槽孔的侧壁开设有M个放置槽3；所述放置槽3与上底的夹角不等于90度；在所述放置槽3的底部开设有N个放置槽通孔5；其中：M和N均为大于0的自然数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津华慧新科智能装备有限公司，其通讯地址为：300467 天津市滨海新区中新生态城滨海旅游区安正路以东、海旭道以北滨旅产业园B06厂房南侧一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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