上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至微半导体有限公司廖世保获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至微半导体有限公司申请的专利一种晶圆侦测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313900B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310103146.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆侦测系统及方法是由廖世保;邓信甫;李盼盼;卢证凯;吕芳毅;陈新来设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆侦测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆侦测系统，采用光学与波段频谱波的结合建立全方位的光学与毫米波噪声扫描成像；包括：光学侦测单元，设置在相对晶圆移动路径的第一位置，用于对晶圆进行光学成像；波段侦测单元，设置在相对晶圆移动路径的第二位置，用于对晶圆进行波谱成像，侦测分析单元，与所述光学侦测单元和所述波段侦测单元信号连接，用于对光学成像信息和波谱成像信息进行侦测和运算分析，以实现对晶圆的侦测，获得晶圆的实时状态，本发明还提供了一种晶圆侦测方法，本发明提供的一种晶圆侦测系统可有效对晶圆盒的位置、移动速度和移动过程进行实时侦测侦测，同时可对晶圆盒与晶圆片三维位置或动作是否偏移、晶圆片是否发生破损进行实时侦测。
本发明授权一种晶圆侦测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆侦测系统，其特征在于：采用光学与波段频谱波的结合建立全方位的光学与毫米波噪声扫描成像；包括： 光学侦测单元，设置在相对晶圆（5）移动路径的第一位置，用于对晶圆（5）进行光学成像； 波段侦测单元，设置在相对晶圆（5）移动路径的第二位置，用于对晶圆（5）进行波谱成像， 侦测分析单元，与所述光学侦测单元和所述波段侦测单元信号连接，用于对光学成像信息和波谱成像信息进行侦测和运算分析，以实现对晶圆（5）的侦测，获得晶圆（5）的实时状态； 对晶圆（5）的侦测包括：对晶圆（5）、晶圆承载装置及晶圆夹持装置的实时运动的侦测； 光学侦测单元包括：光学发射端，用于向X轴、Y轴及Z轴发射光源，以形成全方位空间光学扫描； 所述波段侦测单元包括： 波段发射端，用于向X轴、Y轴及Z轴发射毫米波，以形成全方位空间波段扫描。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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