河北美泰电子科技有限公司许鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉河北美泰电子科技有限公司申请的专利一种稳固材料堆叠的微机械工装及MEMS环行器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116130920B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310041585.0,技术领域涉及:H01P11/00;该发明授权一种稳固材料堆叠的微机械工装及MEMS环行器是由许鹏;梁晓伟;郭文卓;谢姝静;段强设计研发完成,并于2023-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种稳固材料堆叠的微机械工装及MEMS环行器在说明书摘要公布了:本申请适用于MEMS环行器生产技术领域,提供了一种稳固材料堆叠的微机械工装及MEMS环行器,该微机械工装包括:烧结承载底板、隔离结构和磁力施加结构;烧结承载底板置于隔离结构下方;MEMS环行器置于由烧结承载底板和隔离结构围合的腔体内;隔离结构的上表面具有多个预设宽度的凹槽,磁力施加结构置于凹槽中;磁力施加结构用于为MEMS环行器中的铁氧体提供向上的吸引力。本申请能够防止由于铁氧体歪斜、芯片错位等现象导致的烧结失效,能够提高MEMS环行器的烧结成品率。
本发明授权一种稳固材料堆叠的微机械工装及MEMS环行器在权利要求书中公布了:1.一种稳固材料堆叠的微机械工装,应用于烧结的MEMS环行器,其特征在于,包括:烧结承载底板、隔离结构和磁力施加结构; 所述烧结承载底板置于所述隔离结构下方;所述MEMS环行器置于由所述烧结承载底板和所述隔离结构围合的腔体内; 所述隔离结构的上表面具有多个预设宽度的凹槽,所述磁力施加结构置于所述凹槽中;所述磁力施加结构用于为所述MEMS环行器中的铁氧体提供向上的吸引力,所述磁力施加结构为所述MEMS环行器中的铁氧体提供向上的吸引力大于所述铁氧体本身的重力,且所述磁力施加结构为所述MEMS环行器中的铁氧体提供向上的吸引力根据所述铁氧体的厚度不同而不同; 其中,所述隔离结构为T结构,包括第一部分和第二部分; 所述第一部分位于所述第二部分之上; 所述第一部分的长度大于所述第二部分的长度; 所述第一部分的厚度大于所述第二部分的厚度; 所述凹槽位于所述第一部分内,所述第一部分的长度大于等于所述烧结承载底板的整体长度。
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