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深圳市森美协尔科技有限公司刘世文获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利升降机构及晶圆检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119492890B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411589772.3,技术领域涉及:G01R1/04;该发明授权升降机构及晶圆检测装置是由刘世文设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

升降机构及晶圆检测装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种升降机构及晶圆检测装置。升降机构包括:安装座以及调节组件,调节组件包括第一调节件及第二调节件,第一调节件沿第一方向可滑动连接安装座,第二调节件沿第二方向可滑动连接第一调节件,且第二调节件沿第三方向可滑动连接第一调节件,当第一调节件沿第一方向移动时,第二调节件沿第二方向及第三方向相对第一调节件移动,从而调节第二调节件在第三方向上的高度,其中,第一方向与第三方向相交,第二方向位于第一方向与第三方向之间,第一方向与第二方向之间的夹角α的范围为:15°≤α≤30°;第二方向与第三方向之间的夹角β的范围为:60°≤β≤75°。升降机构对第二调节件在第三方向上的高度具有较高的调节精度。

本发明授权升降机构及晶圆检测装置在权利要求书中公布了:1.一种升降机构,其特征在于,所述升降机构包括: 安装座;以及 调节组件,所述调节组件包括第一调节件及第二调节件,所述第一调节件沿第一方向可滑动连接所述安装座,所述第二调节件沿第二方向可滑动连接所述第一调节件,且所述第二调节件沿第三方向可滑动连接所述第一调节件,当所述第一调节件沿第一方向移动时,所述第二调节件沿第二方向及第三方向相对所述第一调节件移动,从而调节所述第二调节件在第三方向上的高度,其中,所述第一方向与所述第三方向相交,所述第二方向位于所述第一方向与所述第三方向之间,所述第一方向与所述第二方向之间的夹角α的范围为:15°≤α≤30°;所述第二方向与所述第三方向之间的夹角β的范围为:60°≤β≤75°; 所述第一调节件沿第一方向上具有相对于所述安装座的第一位置及第二位置;所述升降机构还包括控制组件,所述控制组件包括控制器、第一控制子组件及第二控制子组件,所述第一控制子组件及所述第二控制子组件沿第一方向间隔设置于所述安装座,所述第一控制子组件靠近所述第一位置设置,所述第二控制子组件靠近所述第二位置设置,所述控制器分别电连接所述第一控制子组件及第二控制子组件,所述控制器、所述第一控制子组件与所述第二控制子组件配合,用于控制所述第一调节件在第一位置与第二位置之间移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市森美协尔科技有限公司,其通讯地址为:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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