嘉兴海盛电子有限公司陈跃华获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴海盛电子有限公司申请的专利一种全自动厚度测量设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108843U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422310058.8，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种全自动厚度测量设备是由陈跃华;卜志超;彭从锋;何鑫;余本成设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动厚度测量设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种全自动厚度测量设备，包括有机架、晶圆的测量组件和周转组件、晶舟盒的定位组件和开盖组件；所述晶舟盒下端中央位置设置有锁定横槽；所述晶舟盒下端设置有三个定位槽；所述定位组件包括有水平滑动连接在所述机架外侧的定位板、纵向滑动连接在所述定位板上端的放置板以及转动连接在所述定位板上端的横板；所述放置板上端设置有三个定位支柱；所述横板可选择的在所述定位槽内转动进行锁定限位。放置到放置板上的晶舟盒的位置能够自动被横板锁定，提供了稳定的定位精度。自动对晶舟盒进行开关和取放晶圆，全程无需人工干越，且能隔绝外部环境因素干扰，保障晶圆表面的洁净度，还同时设置了微调组件和标准量块，测量精度高。
本实用新型一种全自动厚度测量设备在权利要求书中公布了：1.一种全自动厚度测量设备，其特征在于：包括有机架、晶圆的测量组件和周转组件、晶舟盒的定位组件和开盖组件；所述晶舟盒下端中央位置设置有锁定横槽；所述晶舟盒下端设置有三个沿圆周方向均匀分布的定位槽；所述定位组件包括有水平滑动连接在所述机架外侧的定位板、纵向滑动连接在所述定位板上端的放置板以及转动连接在所述定位板上端的横板；所述放置板上端设置有三个分别与所述定位槽正对的定位支柱；所述横板可选择的伸出至所述放置板上方；所述横板可选择的在所述定位槽内转动进行锁定限位。
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