捷捷半导体有限公司黎重林获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷半导体有限公司申请的专利一种石英舟与晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108863U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422329679.0，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种石英舟与晶圆加工设备是由黎重林;李松松;孙家训;黄金健设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英舟与晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种石英舟与晶圆加工设备，涉及半导体技术领域。该石英舟的第一槽棒、第二槽棒、第三槽棒以及第四槽棒均平行设置，且第一槽棒、第二槽棒位于第三槽棒、第四槽棒的上方，第三槽棒、第四槽棒在水平面的投影，位于第一槽棒与第二槽棒在水平面的投影之间，第一槽棒、第二槽棒、第三槽棒以及第四槽棒的两端分别与第一侧板、第二侧板连接；其中，第一槽棒、第二槽棒的内侧面设置有V型槽，第三槽棒与第四槽棒的内侧面设置有平底槽，且V型槽与平底槽的槽宽均大于晶圆的宽度；当晶圆置放于石英舟时，晶圆与平底槽的底部、V型槽的侧壁抵持。本申请具有提升了晶圆产品完整性的优点。
本实用新型一种石英舟与晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种石英舟，其特征在于，所述石英舟包括第一槽棒、第二槽棒、第三槽棒、第四槽棒、第一侧板以及第二侧板，所述第一槽棒、所述第二槽棒、所述第三槽棒以及第四槽棒均平行设置，且所述第一槽棒、所述第二槽棒位于所述第三槽棒、所述第四槽棒的上方，所述第三槽棒、所述第四槽棒在水平面的投影，位于所述第一槽棒与所述第二槽棒在水平面的投影之间，所述第一槽棒、所述第二槽棒、所述第三槽棒以及所述第四槽棒的两端分别与所述第一侧板、所述第二侧板连接；其中， 所述第一槽棒、所述第二槽棒的内侧面设置有V型槽，所述第三槽棒与所述第四槽棒的内侧面设置有平底槽，且所述V型槽与所述平底槽的槽宽均大于晶圆的宽度； 当晶圆置放于所述石英舟时，所述晶圆与所述平底槽的底部、所述V型槽的侧壁抵持。
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