无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利半导体处理装置及温度调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117107223B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311091287.9，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权半导体处理装置及温度调整方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体处理装置及温度调整方法在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种半导体处理装置及温度调整方法，所述半导体处理装置通过在盖体朝向基座的一面开设窗口，在反应腔的外侧设置调温组件，调温组件包括第二加热组件和阻断部件，第二加热组件通过窗口形成能够向基座的第一表面上的承载区传递能量的传递路径，阻断部件能够对传递路径传递的能量的量进行调节，实现对随基座旋转的晶圆的表面温度的调节，提升晶圆表面温度的均匀性，进一步提升晶圆表面成膜厚度的均匀性。
本发明授权半导体处理装置及温度调整方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理装置，包括： 腔体壁10，所述腔体壁10包括至少一个开口11； 盖体20，盖设于所述开口11； 基座30，设置于所述腔体壁10内侧，所述基座30包括朝向所述盖体20的第一表面31，所述盖体20与所述第一表面31之间形成反应腔32，所述第一表面31包括沿所述基座30的周向上排布的能够承载晶圆200的承载区203； 第一加热组件40，通过直接或间接的方式加热所述基座30； 旋转传动结构50，所述旋转传动结构与所述基座30连接，以带动所述基座30旋转； 其特征在于，所述半导体处理装置还包括与所述盖体20相连的调温组件60，所述盖体20朝向所述基座30的一面设置有窗口21，所述调温组件60至少包括：面向所述承载区设置的第二加热组件62，所述第二加热组件62能够通过所述窗口21向所述承载区203传递能量并在所述第一表面31形成至少一个覆盖区618；其中，所述调温组件60还包括至少一个阻断件61，所述阻断件61相对于所述第二加热组件62可移动设置，所述阻断件61配置为能够对所述覆盖区的覆盖面积进行调节。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡先为科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号