杭州富芯半导体有限公司李岩获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利工艺腔热处理过程自清洁系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115241087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210730114.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权工艺腔热处理过程自清洁系统和方法是由李岩;林洪辉;许鼎康;倪成昊设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本工艺腔热处理过程自清洁系统和方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种工艺腔热处理过程自清洁系统和方法，工艺腔热处理过程自清洁系统包括：批次信息获取单元，其从生产执行系统获取待处理批次晶圆的掺杂物质和掺杂浓度；温度监测单元，其从工艺腔的测温探头获取热处理过程中的温度变化数据；自清洁程序执行单元，其连接批次信息获取单元、温度监测单元和工艺腔，根据工艺腔在热处理过程中的温度变化数据判断测温探头是否附着副产物，并根据掺杂物质和掺杂浓度判断是否执行自清洁程序。本申请通过获取待处理批次晶圆的掺杂物质和浓度，判断是否控制工艺腔执行自清洁程序，并通过监测热过程及假片工艺过程中的温度变化数据评估自清洁程序的清洁效果。
本发明授权工艺腔热处理过程自清洁系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔热处理过程自清洁系统，其特征在于，包括： 批次信息获取单元，所述批次信息获取单元从生产执行系统获取待处理批次晶圆的掺杂物质和掺杂浓度； 温度监测单元，所述温度监测单元连接工艺腔的测温探头，并从所述测温探头获取所述工艺腔在热处理过程中的温度变化数据； 自清洁程序执行单元，所述自清洁程序执行单元分别连接所述批次信息获取单元、所述温度监测单元和所述工艺腔，根据所述工艺腔在热处理过程中的温度变化数据判断所述测温探头是否附着副产物，并根据所述待处理批次晶圆的掺杂物质和掺杂浓度判断是否控制所述工艺腔执行自清洁程序。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街6号1-1301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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