合肥本源量子计算科技有限责任公司张辉获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥本源量子计算科技有限责任公司申请的专利探针装置、超导量子比特结电阻测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116263474B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210587157.3,技术领域涉及:G01R27/08;该发明授权探针装置、超导量子比特结电阻测量系统及方法是由张辉;刘尧;张福;金贤胜设计研发完成,并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针装置、超导量子比特结电阻测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种探针装置、超导量子比特结电阻测量系统及方法。探针装置包括第一探针、第二探针、第三探针、探针操控机构、电阻监测模块和芯片位移台;探针操控机构用于操控第一探针下针至约瑟夫森结的至少一侧,使第一探针与约瑟夫森结的电极表面的氧化层接触,还用于操控第二探针和第三探针分别下针至约瑟夫森结的两侧,使得第二探针和第三探针恰好扎穿约瑟夫森结的电极表面的氧化层;探针皆与电阻监测模块相连接,以获得两个探针之间的电阻值;芯片位移台用于承载超导量子芯片。通过监测探针之间的电阻的变化情况,使探针能够精准下探至约瑟夫森结电极的氧化层与电极的分界面,实现良好的电学连接而又不损伤电极,提高测量的准确性。
本发明授权探针装置、超导量子比特结电阻测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种探针装置,用于超导量子芯片的测量,其特征在于,包括第一探针、第二探针、第三探针、探针操控机构、电阻监测模块和芯片位移台; 所述探针操控机构用于操控所述第一探针下针至所述超导量子芯片上约瑟夫森结的至少一侧,且使所述第一探针与所述约瑟夫森结的电极表面的氧化层接触,所述探针操控机构还用于操控所述第二探针和第三探针分别下针至所述超导量子芯片上约瑟夫森结的两侧,且使得所述第二探针和所述第三探针恰好扎穿所述约瑟夫森结的电极表面的氧化层; 所述第一探针、第二探针和第三探针皆与所述电阻监测模块相连接,以获得所述第一探针与所述第二探针之间的电阻值,以及所述第一探针与所述第三探针之间的电阻值; 所述芯片位移台用于承载所述超导量子芯片。
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