苏州明昌正光电科技有限公司程晔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州明昌正光电科技有限公司申请的专利磨轮进给装置及硅片减薄机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114871946B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210472842.1，技术领域涉及：B24B47/20；该发明授权磨轮进给装置及硅片减薄机是由程晔;孙庆平设计研发完成，并于2022-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本磨轮进给装置及硅片减薄机在说明书摘要公布了：本发明提供一种磨轮进给装置及硅片减薄机，磨轮进给装置包括：磨轮；固定座，所述固定座具有沿上下方向贯穿设置的安装孔；第一驱动组件，所述第一驱动组件包括安装于所述安装孔内的座体、与座体转动连接的转轴，座体与安装孔之间具有间隙，所述磨轮连接于所述转轴上；微调机构，所述微调机构包括沿所述安装孔的周向间隔分布的至少三个调节组件，每一所述调节组件连接于所述固定座与所述座体之间，且用以调节所述第一驱动组件与该调节组件对应的位置处的下移量；可根据具体需求进行Z轴微量进给，提升减薄工艺的稳定性，同时，可以通过控制多个所述调节组件不同的下移量，实现磨轮在X轴与Y轴方向的高精度倾斜调整，提高硅片研磨的精度。
本发明授权磨轮进给装置及硅片减薄机在权利要求书中公布了：1.一种磨轮进给装置，其特征在于：包括： 磨轮； 固定座，所述固定座具有沿上下方向贯穿设置的安装孔； 第一驱动组件，所述第一驱动组件包括安装于所述安装孔内的座体、与所述座体转动连接的转轴，所述座体与所述安装孔之间具有间隙，所述磨轮连接于所述转轴上； 微调机构，所述微调机构包括沿所述安装孔的周向间隔分布的至少三个调节组件，每一所述调节组件连接于所述固定座与所述座体之间，且用以调节所述第一驱动组件与该调节组件对应的位置处的下移量； 连接件，所述连接件包括固定于所述座体外周的第一固定环、位于第一固定环外周且与所述固定座相固定的第二固定环、连接于所述第一固定环与第二固定环之间的环状弹性件，所述环状弹性件连接于所述第一固定环的外周与第二固定环的内周； 所述调节组件连接于所述第一固定环与第二固定环之间；或者所述调节组件连接于所述第一固定环与所述固定座之间。
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