亚威科股份有限公司李相旿获国家专利权
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龙图腾网获悉亚威科股份有限公司申请的专利基板夹持装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115206865B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210319272.2,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权基板夹持装置是由李相旿设计研发完成,并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板夹持装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基板夹持装置,其包括:固定部,结合于用于输送基板的输送框架;夹持部,以能够以第一转动轴为中心转动的方式结合于固定部,并以第一转动轴为中心在将基板固定于输送框架的夹持位置与从夹持位置隔开的解除位置之间转动;限制部,以能够以从第一转动轴隔开的第二转动轴为中心转动的方式结合于夹持部,并以第二转动轴为中心在被固定部支撑的转动限制位置与从固定部隔开的转动允许位置之间转动,其中,当限制部位于转动限制位置时,被固定部支撑,从而阻止夹持部以第一转动轴中心从夹持位置向解除位置转动,而当限制部位于转动允许位置时,从固定部隔开,从而允许夹持部以第一转动轴为中心从夹持位置向解除位置转动。
本发明授权基板夹持装置在权利要求书中公布了:1.一种基板夹持装置,其特征在于,包括: 固定部,结合于用于输送基板的输送框架; 夹持部,以能够以第一转动轴为中心转动的方式结合于所述固定部,并以所述第一转动轴为中心而在将所述基板固定于所述输送框架的夹持位置与从所述夹持位置隔开的解除位置之间转动;以及 限制部,以能够以从所述第一转动轴隔开的第二转动轴为中心转动的方式结合于所述夹持部,并以所述第二转动轴为中心而在被所述固定部支撑的转动限制位置与从所述固定部隔开的转动允许位置之间转动, 当所述限制部位于所述转动限制位置时,被所述固定部支撑,从而阻止所述夹持部以所述第一转动轴为中心从所述夹持位置向所述解除位置转动,而当所述限制部位于所述转动允许位置时,从所述固定部隔开,从而允许所述夹持部以所述第一转动轴为中心从所述夹持位置向所述解除位置转动, 所述夹持部包括夹持主体,所述夹持主体以能够以所述第一转动轴为中心转动的方式结合于所述固定部, 所述限制部包括限制部件,所述限制部件以能够以所述第二转动轴为中心转动的方式结合于所述夹持主体。
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