深圳市兴华炜科技有限公司郑孝勇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市兴华炜科技有限公司申请的专利高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114577148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210306610.9,技术领域涉及:G01B11/30;该发明授权高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法及装置是由郑孝勇;蔡莹设计研发完成,并于2022-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法及装置在说明书摘要公布了:本发明涉及高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法,实现方法如下:记录多个光线发射器件发出光线在标准平面上形成的标准线段状投影位置以及多标准线段状投影的标准交点位置;保持检测镜头在距离测试平面一定高度位置,记录两个光线发射器件发出光线在检测平面上形成的检测线段状投影位置以及两检测线段状投影的检测交点位置,依据检测线段状投影位置和标准投影位置的差值调整检测镜头与测试平面的相对位置;以多个光线发射器件发出光线在检测镜头的视野范围内形成线段状投影位置差值以及线段投影交点位置差值为标准来调整检测镜头与测试平面的相对位置,从而达到快速区域对焦目的,能够快速高效的对平整度进行检测。
本发明授权高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法,其特征在于,实现方法如下: 应用检测镜头以及多个光线发射器件,所述光线发射器件呈斜角度发出光线在所述检测镜头的视野范围内形成线段状投影,且多条线段状投影中相邻近的两条线段状投影相交; 标定: 保持所述检测镜头在距离标准平面设定高度位置,记录多个所述光线发射器件发出光线在所述标准平面上形成的标准线段状投影位置以及多标准线段状投影的标准交点位置; 测试: 所述检测镜头在距离测试平面一定高度位置,记录两个所述光线发射器件发出光线在所述检测平面上形成的检测线段状投影位置以及两检测线段状投影的检测交点位置,依据检测线段状投影位置和标准投影位置的差值调整检测镜头与测试平面的相对位置; 当所有检测线段状投影位置和标准投影位置的差值以及所有检测交点位置与相应的标准交点位置差值均在设定误差范围内,则完成区域对焦。
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