中国科学院近代物理研究所叶兵获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院近代物理研究所申请的专利一种测量重离子能量和种类的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114296122B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111673047.0,技术领域涉及:G01T1/29;该发明授权一种测量重离子能量和种类的方法是由叶兵;刘杰;孙友梅;蔡莉;罗捷;赵培雄设计研发完成,并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种测量重离子能量和种类的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种测量重离子能量和种类的方法。方法包括:选用多个不同LET值的重离子束流,对三维堆叠结构器件进行单粒子效应标定,获得单粒子效应截面随LET的变化关系;对标定的数据进行Weibull函数拟合,获得三维堆叠结构器件的单粒子效应截面随LET变化的曲线;将重离子对三维堆叠结构器件开展单粒子效应测试,获得分层的单粒子效应截面;基于标定的曲线确定在每一层的单粒子效应截面所对应的LET值,结合每一层的深度得到LET值随入射深度的变化,通过对比数据库中LET值随入射深度的变化关系,确定重离子的能量及种类。本发明提高了重离子能量测量的精度和重离子种类探测的可靠性,同时一定程度上解决了重离子能量和种类探测器性能随时间退化的问题。
本发明授权一种测量重离子能量和种类的方法在权利要求书中公布了:1.一种测量重离子能量和种类的方法,其特征在于,所述方法包括: 选用多个不同LET值的重离子束流,对三维堆叠结构器件进行单粒子效应标定,获得单粒子效应截面随LET的变化关系; 对所述标定的数据进行Weibull函数拟合,获得所述三维堆叠结构器件的单粒子效应截面随LET变化的曲线,拟合公式为: 公式1为拟合单粒子效应截面数据的Weibull函数,其中A为器件的单粒子效应截面饱和值,L为LET值,L0为引起器件单粒子效应的阈值LET,W和S为Weibull拟合参数; 将需要探测能量和种类的重离子对所述三维堆叠结构器件开展单粒子效应测试,获得需要探测能量及种类重离子束流在三维堆叠结构器件分层的单粒子效应截面; 基于所述标定的Weibull函数拟合的曲线确定所述需要探测能量和种类的重离子在所述三维堆叠结构器件每一层的单粒子效应截面所对应的LET值,结合每一层的深度得到需要探测能量和种类的重离子LET值随入射深度的变化,通过对比数据库中LET值随入射深度的变化关系,确定所述需要探测的重离子的能量及种类; 所述三维堆叠结构器件包括至少三层具有单粒子效应的层结构; 所述三维堆叠结构器件为三维堆叠存储器、三维堆叠数模转换器件或三维堆叠芯片; 进行所述标定时,如果所述三维堆叠结构器件的每一层的裸片都相同,则仅对最表层裸片进行单粒子效应敏感性标定; 如果所述裸片不同,则对不同裸片层的单粒子效应敏感性进行标定。
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