季华实验室胡承获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334738B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111658267.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备是由胡承;赵海英;徐俊;盛飞龙;吴彩庭;孔倩茵设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备，用于在外延生长前对衬底进行预热处理，所述用于外延工艺的衬底预热装置包括：基座；衬底取放台，用于装载并固定衬底；衬底加热器，用于对衬底进行预热处理，所述衬底加热器设置在所述衬底上方，所述衬底加热器固定连接在所述基座上；升降驱动组件，用于驱动所述衬底取放台做升降运动，使衬底靠近或远离所述衬底加热器。所述用于外延工艺的衬底预热装置通过将衬底加热器设置在衬底上方，使得衬底加热器发出的热量直接作用于衬底上表面，从而使衬底上表面的温度达到外延工艺的温度要求。
本发明授权一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于外延工艺的衬底预热装置，用于在外延生长前对衬底1进行预热处理，其特征在于，所述用于外延工艺的衬底预热装置包括： 基座210； 衬底取放台220，用于装载并固定所述衬底1； 衬底加热器230，用于对衬底进行预热处理，所述衬底加热器230设置在所述衬底1上方，所述衬底加热器230固定连接在所述基座210上； 升降驱动组件240，用于驱动所述衬底取放台220做升降运动，使所述衬底1靠近或远离所述衬底加热器230； 所述衬底预热装置还包括旋转驱动组件250，所述旋转驱动组件250与所述升降驱动组件240相连接，并用于在所述衬底加热器230对所述衬底1进行预热时，驱动所述衬底取放台220转动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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