上海新阳半导体材料股份有限公司;上海芯刻微材料技术有限责任公司方书农获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新阳半导体材料股份有限公司;上海芯刻微材料技术有限责任公司申请的专利一种i线光刻胶及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116203797B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111450747.3，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种i线光刻胶及其制备方法和应用是由方书农;王溯;耿志月;唐晨设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种i线光刻胶及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种i线光刻胶及其制备方法和应用。本发明公开的i线光刻胶组合物包括以下组分：树脂、光敏剂、有机硅流平剂和有机溶剂；所述树脂包括下述重量份数的组分：80‑90份酚醛树脂、20‑50份树脂C和10‑15份树脂D；所述酚醛树脂为酚醛树脂A和酚醛树脂B的至少一种；所述酚醛树脂A的制备方法包括下列步骤：在草酸的作用下，将间甲酚、对甲酚、3,5‑二甲酚和甲醛进行反应得到；所述酚醛树脂B的制备方法包括下列步骤：在草酸的作用下，将间甲酚、对甲酚和甲醛进行反应得到；所述有机硅流平剂为聚甲基苯基硅氧烷。采用本发明的i线光刻胶组合物在用于i线光刻时得到的光刻胶图光敏性和分辨率高。
本发明授权一种i线光刻胶及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种i线光刻胶组合物，其特征在于，其包括以下组分：树脂、光敏剂、有机硅流平剂和有机溶剂； 所述树脂包括下述重量份数的组分：80-90份酚醛树脂、20-50份树脂C和10-15份树脂D； 所述酚醛树脂为酚醛树脂A和酚醛树脂B的至少一种； 所述酚醛树脂A的制备方法包括下列步骤：在草酸的作用下，将间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和甲醛进行反应得到； 所述酚醛树脂B的制备方法包括下列步骤：在草酸的作用下，将间甲酚、对甲酚和甲醛进行反应得到； 所述树脂C和树脂D的结构如下所示： 所述有机硅流平剂为聚甲基苯基硅氧烷。
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