上海精测半导体技术有限公司张晓雷获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利一种光学特性建模的方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114036778B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111425147.1,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权一种光学特性建模的方法和装置是由张晓雷;张厚道;施耀明设计研发完成,并于2021-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学特性建模的方法和装置在说明书摘要公布了:本发明提供了光学特性建模的方法和装置,该方法包括将周期空间内所有微结构在z方向上划分若干层薄片;获取同一层的所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域,并将所述各个封闭区域的边界表示为各个多边形;获取每个所述多边形顶点的x坐标和y坐标,构成x坐标集合和y坐标集合,分别将x坐标集合和y坐标集合中的坐标,构成候选积分子区间,从候选积分子区间获取目标积分子区间,并根据目标积分子区间,计算周期介质的介电系数的傅里叶系数和周期介质的介电系数的托普利兹矩阵,最终以实现所述周期介质的光学特性建模。本发明根据目标积分子区间,计算得到理论光谱数据,保证精度的同时,提高了得到理论光谱数据的效率。
本发明授权一种光学特性建模的方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种光学特性建模方法,其特征在于,包括: 将周期介质内的微结构在z方向上划分为N层薄片,N为正整数; 获取同一层的所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域,并将所述各个封闭区域的边界表示为各个多边形;获取每个所述多边形的顶点的x坐标和y坐标,构成x坐标集合和y坐标集合; 分别将所述x坐标集合和所述y坐标集合中的坐标,由大到小或由小到大的顺序排列;顺序排列后的所述x坐标集合和所述y坐标集合中,各自任意相邻两个坐标,构成候选积分子区间; 基于所述候选积分子区间获取目标积分子区间; 根据得到的x方向的所述目标积分子区间和y方向的所述目标积分子区间,计算周期介质的介电系数的傅里叶系数和周期介质的介电系数的托普利兹矩阵; 利用所述周期介质的介电系数的傅里叶系数和所述周期介质的介电系数的托普利兹矩阵进行严格耦合波分析,以实现所述周期介质的光学特性建模; 其中,基于所述候选积分子区间获取目标积分子区间,包括: 确定所述候选积分子区间的均匀性; 若所述候选积分子区间是均匀的,则将该候选积分子区间作为目标积分子区间;若所述候选积分子区间是非均匀的,则将该候选积分子区间划分为两个以上的目标积分子区间。
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