住友化学株式会社小林信次获国家专利权
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龙图腾网获悉住友化学株式会社申请的专利检查方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115867780B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180046819.X,技术领域涉及:G01M11/00;该发明授权检查方法是由小林信次;松田俊介设计研发完成,并于2021-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查方法在说明书摘要公布了:本发明提供对具备异形的圆偏振板的膜状的被检查物10有无缺陷进行判断的检查方法。将光源2、第一相位差滤光片3A、第一相位差板4A、被检查物10、第二相位差板4B、第二相位差滤光片3B以在光路9上依次排列的方式进行配置,使光入射,从而判断圆偏振板有无缺陷。接着,将第一相位差板4A以及第二相位差板4B分别置换为波长550nm处的面内相位差值不同的第三相位差板以及第四相位差板,再次使光入射,从而判断圆偏振板有无缺陷。由于第一相位差滤光片3A与第二相位差滤光片3B构成正交尼科耳状态,因此来自被检查物10的异形部分的漏光得到大幅度抑制,从而容易进行异形部分的附近的检查。
本发明授权检查方法在权利要求书中公布了:1.一种检查方法,其是对膜状的被检查物有无缺陷进行判断的检查方法,所述被检查物具备圆偏振板以及层叠于所述圆偏振板且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜,其中, 所述被检查物是以矩形为基准且具有从所述矩形的边朝向所述矩形的内侧凹陷的凹部的形状、或者是矩形的角部成为曲线的形状、或者是在远离矩形的边的位置具有贯通孔的形状, 将光源、第一相位差滤光片、第一相位差板、所述被检查物、第二相位差板、以及第二相位差滤光片以在所述光源所发出的光的光路上依次排列的方式进行配置, 所述第二相位差板的波长550nm处的面内相位差值与所述剥离膜的波长550nm处的面内相位差值大致相同,且所述第二相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿, 所述第二相位差滤光片与所述第一相位差滤光片及所述圆偏振板构成正交尼科耳状态, 所述第一相位差板的波长550nm处的面内相位差值与所述第二相位差板的波长550nm处的面内相位差值大致相同,且所述第一相位差板对所述第二相位差板所具有的双折射进行补偿, 所述大致相同是指二者的差异为±5nm以内, 使光向所述被检查物入射,从所述光源的相反侧进行观察,从而判断所述圆偏振板有无缺陷, 将所述第一相位差板以及所述第二相位差板分别置换为第三相位差板以及第四相位差板, 所述第三相位差板以及所述第四相位差板的波长550nm处的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm处的面内相位差值大50~100nm,且所述第三相位差板以及所述第四相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿, 在该置换后,使光向所述被检查物入射,从所述光源的相反侧进行观察,从而判断所述圆偏振板有无缺陷。
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