株式会社斯库林集团田原香奈获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116134587B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180061485.3，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权基板处理方法及基板处理装置是由田原香奈设计研发完成，并于2021-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：基板处理方法包括：蚀刻工序，在基板的表面形成含有具有蚀刻功能的第1聚合物及具有固体形成功能的第2聚合物的半固态的涂布膜，通过前述基板上的前述第1聚合物，对前述基板的表层部进行蚀刻；和蚀刻停止工序，通过固体形成处理，使前述涂布膜中的前述第2聚合物固化从而将前述涂布膜转化为固态化膜，由此使前述基板的表层部的蚀刻停止。
本发明授权基板处理方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.基板处理方法，其包括： 蚀刻工序，在基板的表面形成含有具有蚀刻功能的第1聚合物及具有固体形成功能的第2聚合物的半固态的涂布膜，通过所述基板上的所述第1聚合物，对所述基板的表层部进行蚀刻；和 蚀刻停止工序，通过固体形成处理，使所述涂布膜中的所述第2聚合物固化从而将所述涂布膜转化为固态化膜，由此，使所述基板的表层部的蚀刻停止。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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