株式会社日立高新技术小川芳文获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利气体供给控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115413309B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180004762.7，技术领域涉及：F15B11/06；该发明授权气体供给控制装置是由小川芳文;高妻丰设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体供给控制装置在说明书摘要公布了：气体供给控制装置向处理被加工物的处理室供给气体，该气体供给控制装置具备：与吹扫用气体的气体源连接的第一端口；与处理用气体的气体源连接的第二端口；使从所述第一端口及第二端口供给的所述吹扫用气体和所述处理用气体各自合流地流动的集合配管；设置在所述第一端口与所述集合配管之间的第一流量控制器；以及设置在所述第二端口与所述集合配管之间的第二流量控制器。所述吹扫用气体所流动的气体流路从所述第一流量控制器的输出侧向所述第二流量控制器的输入侧形成。
本发明授权气体供给控制装置在权利要求书中公布了：1.一种气体供给控制装置，向处理被加工物的处理室供给气体， 所述气体供给控制装置的特征在于，具备： 第一端口，与吹扫用气体的气体源连接； 第二端口，与处理用气体的气体源连接； 集合配管，与所述处理室连接，且使从所述第一端口及所述第二端口供给的所述吹扫用气体和所述处理用气体各自合流地流动； 第一流量控制器，连接在所述第一端口与所述集合配管之间； 第二流量控制器，连接在所述第二端口与所述集合配管之间， 所述吹扫用气体所流动的气体流路从所述第一流量控制器的输出侧向所述第二流量控制器的输入侧形成， 所述气体流路包含：第一气体阀，设置在所述第二端口与所述第二流量控制器的输入侧之间的最上游侧，进行所述吹扫用气体的供给动作及停止动作， 所述第一气体阀将所述吹扫用气体所流动的方向控制成从隔膜侧向反隔膜侧。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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