日本控制系统株式会社角田大获国家专利权
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龙图腾网获悉日本控制系统株式会社申请的专利光罩信息调整装置、光罩数据调整方法以及程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280469B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180020040.0，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权光罩信息调整装置、光罩数据调整方法以及程序是由角田大;堀间康章设计研发完成，并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩信息调整装置、光罩数据调整方法以及程序在说明书摘要公布了：本发明的课题是以往的光罩信息调整装置中具有可得到高精确度的曝光图案的光罩信息的数据大小会庞大的问题。本发明的解决方案是通过光罩信息调整装置（1），可缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案；该光罩信息调整装置（1）具备：对象信息取得部（141），取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部（140），取得去除光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与顶点或边配对，所述曝光图案是对应光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将光罩图案简化；及输出部（160），输出包含通过处理部（140）简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
本发明授权光罩信息调整装置、光罩数据调整方法以及程序在权利要求书中公布了：1.一种光罩信息调整装置，调整用于制造光罩的光罩信息，其特征在于，具备： 对象信息取得部，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息； 处理部，取得去除所述光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与该顶点或边配对，所述曝光图案是对应所述光罩图案并使用光罩所生成，从所取得的影响度最小的顶点或边开始进行顶点或边的去除，由此将所述光罩图案简化；及 输出部，输出包含通过所述处理部简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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