应用材料公司布莱恩·伯罗斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于改善的热均匀性与轮廓控制的线性灯阵列获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114929949B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080085703.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权用于改善的热均匀性与轮廓控制的线性灯阵列是由布莱恩·伯罗斯;刘树坤;叶祉渊设计研发完成，并于2020-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于改善的热均匀性与轮廓控制的线性灯阵列在说明书摘要公布了：本文提供了用于在处理腔室中使用的上反射器组件的方法和设备。在一些实施方式中，一种用于在处理腔室中使用的上反射器组件包括：反射器安装环；及上反射器板，耦接到反射器安装环，并具有上表面和下表面，其中下表面包括多个线性通道，多个线性基本彼此平行地延伸跨过下表面，且其中上反射器板包括空气冷却狭槽，空气冷却狭槽从上表面延伸到下表面。
本发明授权用于改善的热均匀性与轮廓控制的线性灯阵列在权利要求书中公布了：1.一种用于在处理腔室中使用的上反射器组件，包含： 反射器安装环；以及 上反射器板，所述上反射器板耦接至所述反射器安装环，并且包含： 上表面； 下表面； 多个线性通道，所述多个线性通道基本彼此平行地延伸跨过所述下表面；及 多个空气冷却狭槽，所述多个空气冷却狭槽从所述上表面延伸到所述下表面，所述多个空气冷却狭槽包含多个第一狭槽和多个第二狭槽，所述多个第一狭槽被配置为将空气流引导朝向多个线性加热灯，所述多个第二狭槽被配置为将空气流引导朝向所述处理腔室的上圆顶，所述多个第一狭槽的每一者小于所述多个第二狭槽的每一者，所述多个第二狭槽正交于所述上表面延伸，并且所述多个第一狭槽相对于所述上反射器板的所述上表面以小于90度的角度延伸。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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